刻蚀机是什么?刻蚀机是什么东西

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刻蚀机是什么?为什么这么贵?今天我们就来聊聊这个话题。首先我们要知道,刻蚀机是一种用于半导体制造的设备,主要用于生产硅片、晶圆以及芯片的制造过程中。目前全球最先进的刻蚀机是asml公司的euv光刻机,这种光刻机的性能非常强大,能够实现7纳米、5纳米甚至是3纳米的制程工艺。不过由于美国的限制,asml公司的euv光刻机无法出口到中国,只能在国内进行生产。


一:刻蚀机是什么东西

受中兴、华为事件的刺痛下,更多的研发力量、资金、人才涌入中国芯片行业,国产芯片的前行脚步加快。

日前,我国便在光刻机领域传来喜讯,中科院官网刊文表示,上海光机所在计算光刻技术领域——光学邻近效应修正技术上,取得重要进展。

好消息不止光刻机,国产刻蚀机也迎来新突破。

6月15日,中微半导体首台8英寸甚高频去耦合反应离子刻蚀设备Primo AD-RIE 200顺利付运客户生产线。该设备由中微半导体自主研发,可以进行8英寸晶圆的加工。

这显示出我国在刻蚀机领域的又一重大进步。

同光刻机一样,刻蚀机也是芯片加工过程中的关键设备,也是我国最具优势的半导体设备。在诸多半导体设备中,刻蚀机是我国替代占比最高的设备之一。

中微半导体、北方华创、屹唐半导体等都是我国领先的刻蚀机企业;其中,中微半导体表现最为强势。

目前,中微半导体的工艺节点已经达到5nm,其刻蚀设备也成功进入台积电5nm生产线。由此可见,在技术实力上中微半导体已经达到全球领先水准。

中微半导体在刻蚀机领域的优异成绩,成功打破了泛林半导体、应用材料与日本东京电子这三家企业垄断全球刻蚀机市场的格局,填补了我国在这一领域的空白。

面对快速崛起的中微半导体,美国商务部在2015年解除了对中国等离子体刻蚀设备的出口管制,让美国企业能够冲击中微半导体的行业地位。

不过,显然中微半导体并没有因此退缩。

从2016年到2019年,中微半导体一直在加大研发投入。2019年,公司研发投入占收入的比重高达28.3%,可以看出公司对研发的重视。

在高研发投入之下,中微半导体取得了诸多优异成绩,公司客户结构不断丰富,进一步抢占着全球刻蚀机市场。

如今,台积电、中芯国际、海力士、格罗方德等全球芯片领先企业,都已经成为中微半导体刻蚀设备的客户。这无疑是对中微半导体实力的最大肯定。

虽然,当前我国芯片产业还有诸多不足,但是在中科院这样的科研机构、中微半导体等半导体企业的共同努力下,中国芯片产业的国产替代率将进一步上升,最终实现国产芯片自主可控。

文/BU 审/球子


二:刻蚀机是什么原因

光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。曝光机就是利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜的设备。

三:刻蚀是什么意思

throw [θro]
vt. 1. 投,掷,抛,扔[(+at/to)] 2. 使突然陷入;把...投进[(+into)] 3. 匆匆穿上...
vi. 1. 投,掷,抛,扔
n. 1. 投掷 2. 投距,射程 3. 投掷的结果;(骰子)掷出的点数 4. 围巾,披巾;(沙发...
2.使突然陷入;把...投进
3.匆匆穿上(或脱下)[Q]
6.伸(四肢);挺(胸);仰(首);挥(拳)猛击
7.掷(骰子);掷出(骰子点数)
9.【口】举行(宴会等)
throw n 投, 掷 v.扔, 抛, (指马)把骑者摔在地上, 使苦恼, 惊忧,
throw the bull (把牛抛起来)吹牛
throw over 抛弃, 拒绝, 使覆盖
....等等.......关键掌握抛这个动作,和不同的副词搭配可以解释不同的意思
动词vt. 1.投,掷,抛,扔
2.使突然陷入;把...投进
vi. 1.投,掷,抛,扔
名词n. 1.投掷2.投距,射程
1. 投,掷,抛,扔[O1][(+at/to)]
2. 使突然陷入;把...投进[Q][(+into)]
3. 匆匆穿上(或脱下)[Q]
6. 伸(四肢);挺(胸);仰(首);挥(拳)猛击
7. 掷(骰子);掷出(骰子点数)
throw at... 是向。。扔东西的意思
向某人扔某物 throw sth. at sb.
he threw the apples at me.

四:刻蚀的目的是什么

刻蚀工艺是在扩散工艺之后,目的是将多晶硅片四周经扩散工艺产生的PN结去除,以免产生短路